レーザ加工光学系とは
Ⅱ．結像光学系結像光学系は、マスク投影法によりマスク形状を加工対象物上に縮小投影して加工する光学系です。  ‡ 結像光学系の特徴 ‡  結像光学系では、マスクと結像レンズとの距離（距離A）に対する結像レンズと加工対象物との距離の比（距離B）で縮小倍率が決まります。 このため、縮小倍率が大きくなればなるほど、光路長が長くなりますのでレーザ加工装置自体が どうしても大きくなってしまいます。 結像光学系の良さは、 マスクパターンをそのまま縮小投影して加工することができる点 にあります。 しかし、その反面、光路長を抑えるために結像レンズと加工対象物の距離を短くする（ＮＡを大きくする）ことになると、焦点深度が集光光学系と比較すると短くなる傾向にあるため、加工対象物の表面層での加工（貫通を行わない加工）に向いていると言えます。 |
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